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MetOne 標(biāo)準(zhǔn)粒子發(fā)生裝置

產(chǎn)品時(shí)間:2024-05-30

訪問(wèn)次數(shù):1336

簡(jiǎn)要描述:

MetOne標(biāo)準(zhǔn)粒子發(fā)生裝置
氣體塵埃粒子計(jì)數(shù)器的校正程序
校正所需設(shè)備:
100 級(jí)潔凈房或潔凈臺(tái)
一臺(tái)用于作對(duì)比,尚在校正期內(nèi)的塵埃粒子計(jì)數(shù)器,如 Metone3400
各粒徑的標(biāo)準(zhǔn)粒子,如 0.3um 0.5um 1um 等等
標(biāo)準(zhǔn)粒子氣體產(chǎn)生器,如 Model 255
可產(chǎn)生脫離水( DI 水)的純水系統(tǒng)或類(lèi)似裝置
其它普通電器,如 220

MetOne 255標(biāo)準(zhǔn)粒子發(fā)生裝置

氣體塵埃粒子計(jì)數(shù)器的校正程序 

校正所需設(shè)備: 

100 級(jí)潔凈房或潔凈臺(tái) 

一臺(tái)用于作對(duì)比,尚在校正期內(nèi)的塵埃粒子計(jì)數(shù)器,如 Metone3400 

各粒徑的標(biāo)準(zhǔn)粒子,如 0.3um  0.5um  1um 等等  

 標(biāo)準(zhǔn)粒子氣體產(chǎn)生器,如 Model 255 

可產(chǎn)生脫離水( DI 水)的純水系統(tǒng)或類(lèi)似裝置  

  其它普通電器,如 220V 電源插座,萬(wàn)用表等等 

校正的基本原理 

標(biāo)準(zhǔn)粒子(如 0.301um )通過(guò) 255 粒子產(chǎn)生器由液狀霧化成氣體,并由其內(nèi)置泵通過(guò) 0.2um 的過(guò)濾器后的干燥氣體進(jìn)入取樣管路,這時(shí),將兩臺(tái)相同塵埃粒子計(jì)數(shù)器同時(shí)或先后對(duì)取樣管進(jìn)行抽樣測(cè)試,并比校 0.3um 粒徑的測(cè)試值。如果其平均值在 20% 以?xún)?nèi),認(rèn)為合格。如果不同型號(hào)的粒子計(jì)數(shù)器,一定要弄清楚其流速,取樣時(shí)間,取樣次數(shù)等參數(shù),并且,還要明白怎樣理解其測(cè)試結(jié)果。 

三 . 校正的基本步驟: 

現(xiàn)假設(shè)對(duì)一臺(tái)常見(jiàn)的 Metone227B 作校正  

 首先,要清楚 Metone3413 和 Metone227B 有何差別,其測(cè)試原理一樣,但 Metone3413 流速為 1CFM (立方英尺 / 分鐘),而 Metone227B 則為 0.1CFM 。 

首先,請(qǐng)將潔凈臺(tái)開(kāi)機(jī),工作半小時(shí),其間內(nèi)也打開(kāi) Metone227B 和 Metone3413 ,讓其預(yù)熱半小時(shí)。  

  準(zhǔn)備好 255 的取樣器管,并搭接好其所有氣體管路。  

 將配好的標(biāo)準(zhǔn)液(如 0.301um )放入脫原子瓶中,注意勿讓液體超過(guò)噴嘴。  

  設(shè)置 Metone3413 和 Metone227B 的基本參數(shù) 

取樣時(shí)間都設(shè)置為 00 : 01 : 00  

 取樣次數(shù)都設(shè)置 03 

取樣模式都設(shè)置為 Auto 

間隔時(shí)間都設(shè)置為 00 : 00 : 05  

 讀數(shù)模式都設(shè)置為 Cumulative 

注:以上設(shè)置相同,因其流速有 10 倍差,故 Metone3413 測(cè)試結(jié)果會(huì)是 Metone227B 的 10 倍。  

 此時(shí),打開(kāi) 255 電源,調(diào)節(jié)脫原子氣體閥和干燥氣體閥,在調(diào)至噴嘴閥處呈氣霧出現(xiàn),干燥氣體流速計(jì)約 60SCFH 時(shí)后,保持其工作狀態(tài)。  

 此時(shí),讓 Metone227B 和 Metone3413 同時(shí)工作,看其三次的平均結(jié)果,若在 20% 以?xún)?nèi),視為合格。  

 拆下脫原子瓶,重新滴入其它標(biāo)準(zhǔn)粒子,重復(fù)該測(cè)試。  
  以上校正只是對(duì)比校正,尚可用萬(wàn)用表對(duì)其基本參數(shù)測(cè)量,用示波器對(duì)其信號(hào)捕捉等來(lái)輔助調(diào)校。 
價(jià)格說(shuō)明

一般情況下:
劃線價(jià)格:劃線的價(jià)格可能是商品的銷(xiāo)售指導(dǎo)價(jià)或該商品的曾經(jīng)展示過(guò)的銷(xiāo)售價(jià)等,并非原價(jià),僅供參考。
未劃線價(jià)格:未劃線的價(jià)格是商品在阿里巴巴中國(guó)站上的銷(xiāo)售標(biāo)價(jià),具體的成交價(jià)格根據(jù)商品參加活動(dòng),或因用戶(hù)使用優(yōu)惠券等發(fā)生變化,終以訂單結(jié)算頁(yè)價(jià)格為準(zhǔn)。
活動(dòng)預(yù)熱狀態(tài)下:
劃線價(jià)格:劃線的價(jià)格是商品在目前活動(dòng)預(yù)熱狀態(tài)下的銷(xiāo)售標(biāo)價(jià),并非原價(jià),具體的成交價(jià)可能因用戶(hù)使用優(yōu)惠券等發(fā)生變化,終以訂單結(jié)算頁(yè)價(jià)格為準(zhǔn)。
未劃線價(jià)格:未劃線的價(jià)格可能是商品即將參加活動(dòng)的活動(dòng)價(jià),僅供參考,具體活動(dòng)時(shí)的成交價(jià)可能因用戶(hù)使用優(yōu)惠券等發(fā)生變化,終以活動(dòng)是訂單結(jié)算頁(yè)價(jià)格為準(zhǔn)。
伙拼折上折活動(dòng)狀態(tài)下:
該商品(部分規(guī)格除外)在伙拼折上折活動(dòng)期間內(nèi),買(mǎi)家可享受伙拼折上折活動(dòng)優(yōu)惠價(jià)格(該價(jià)格較同時(shí)期伙拼日常活動(dòng)價(jià)格更優(yōu)惠)。

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